產品詳情 一、分子式：PO(OC2H5)3                           二、分子量：182.15 三、理化性質         無色透明液體。易溶于乙醇，溶于乙醚、苯等有機溶劑，也溶于水。熔點-56.4℃，沸點215℃，密度1.07kg/L。正常狀況下穩(wěn)定，與遇強堿、強氧化劑起劇烈反應。 四、用途         晶圓制造過程中沉積生成磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）。是半導體、分立器件、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學品。 五、質量指標 分析項目 技術指標(ppb) 分析項目 技術指標(ppb) 純度 99.999995%（7.5N） Al   max 2 Mo   max 1 Ag   max 1 Na   max 4 As   max 3 Ni   max 1 Au   max 1 Pb   max 1 Ba   max 1 Sb   max 1 Be   max 1 Sn   max 1 Bi   max 1 Sr   max 1 Ca   max 3       Th   max 1 Cd   max 1 Ti   max 2 Co   max 1 U   max 1 Cu   max 1 V   max 1 Cr   max 1 Zn   max 3 Fe   max 3 Zr   max 1 Ga   max 1 水分  max 25ppm Hg   max 1 色度 max 10APHA K    max 1 主含量 min 99.97% Li    max 1 顆粒數(shù)≥0.3µm  max 40 p/ml Mg   max 1 顆粒數(shù)≥0.5µm  max 10 p/ml Mn   max 1 顆粒數(shù)≥1.0µm  max 3 p/ml   六、包裝         容器：不銹鋼瓶                    外包裝：不銹鋼箱柜                        規(guī)格：5加侖（19L）