中文名稱雙(二乙基氨基)硅烷
英文名稱Bis(diethylamino)silane
CAS號(hào)27804-64-4
分子式C8H22N2Si
分子量174.36
沸點(diǎn)70°C (30mm)
密度0.804
形態(tài)液體
用途雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作為ALD膜的前驅(qū)體材料。
武漢吉鑫益邦生物科技有限公司
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