六甲基二硅氯烷（Hexamethyldisilazane, HMDS）產(chǎn)品介紹

1. 基本信息

• 化學(xué)名稱：六甲基二硅氮烷

• 英文名：Hexamethyldisilazane (HMDS)

• 化學(xué)式：C?H??NSi?

• CAS號：999-97-3

• 分子量：161.39 g/mol

• 外觀：無色透明液體，有氨味

• 物理性質(zhì)：

• 沸點(diǎn)：125-126℃

• 熔點(diǎn)：-78℃

• 密度：0.77 g/cm3（25℃）

• 折射率：1.407-1.409（20℃）

• 溶解性：

• 易溶于有機(jī)溶劑（如甲苯、己烷、THF）

• 遇水分解

2. 主要用途

（1）半導(dǎo)體/微電子工業(yè)

• 光刻工藝：

• 作為光刻膠的增粘劑（adhesion promoter）

• 用于晶圓表面處理，增強(qiáng)光刻膠附著力

（2）有機(jī)硅合成

• 硅烷化試劑：

• 制備三甲基硅基（TMS）保護(hù)基

• 用于藥物、天然產(chǎn)物合成中的羥基保護(hù)

（3）醫(yī)藥/農(nóng)藥中間體

• 關(guān)鍵原料：

• 合成西地那非（偉哥主要成分）等藥物

• 農(nóng)藥硅烷偶聯(lián)劑的制備

（4）其他應(yīng)用

• 納米材料：

• 二氧化硅納米顆粒表面改性

• 分析化學(xué)：

• GC/MS衍生化試劑

3. 產(chǎn)品規(guī)格

4. 產(chǎn)品優(yōu)勢

? 高反應(yīng)活性：硅烷化效率優(yōu)于其他試劑
? 電子級純度：滿足半導(dǎo)體嚴(yán)苛要求
? 多功能性：跨行業(yè)應(yīng)用（電子、醫(yī)藥、材料）
? 工藝兼容性：與現(xiàn)有微電子工藝匹配良好