用于制取磷酸二苯-異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯,塑料增塑劑,有機磷農(nóng)藥,長效磺胺藥物等。還可用作染料中間體,有機合成的氯化劑和催化劑,阻燃劑。
電子級三氯氧磷的用途在太陽能行業(yè),集成電路,分離器件,光線預(yù)制棒等液態(tài)磷源也可制備磷酸酯。
在半導(dǎo)體行業(yè)主要用于N型摻雜源,在0℃反應(yīng)效果最好。
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