生產(chǎn)方法

1.將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng),生成二氯二氫硅,經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅,把得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制,制得電子級高純二氯二氫硅成品。
2.將27.1g SiHCl3與3.7g Bu3N在常壓下回流40h,即得到產(chǎn)品。產(chǎn)物用置于干冰浴上的接收器收集。產(chǎn)率可達(dá)到7.3%。
3.將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng),生成二氯二氫硅,經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅,將得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制,制得電子級高純二氯二氫硅成品。其反應(yīng)式如下:

用途

1.用于制造半導(dǎo)體,尤其是在外延法工藝中作為硅源。二氯二氫硅主要用于多晶硅外延生長以及化學(xué)氣相沉積二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氫硅和四氯化硅高,二氯二氫硅沉積硅更有效,且淀積溫度比其他氯硅烷低。采用二氯二氫硅在降低溫度下沉積厚層所需時(shí)間大大低于采用硅烷所需時(shí)間。由于二氯二氫硅的沉積速率與采用其他氯硅烷相比對溫度敏感性小,因此可以采用調(diào)節(jié)氫氣流中二氯二氫硅濃度的方法來控制沉積速率,而且不會出現(xiàn)鼓泡所帶來的不準(zhǔn)確性和機(jī)械問題。
2.用于甲硅烷基化劑,及合成硅的有機(jī)化合物。