Tencor P-7探針式輪廓儀以成功領(lǐng)先市場的Tencor P-17臺(tái)式探針式輪廓儀系統(tǒng)為基礎(chǔ)。它涵蓋了P-17的卓越測量性能,為臺(tái)式探針式輪廓儀提供了出色的性價(jià)比。Tencor P-7探針式輪廓儀支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,掃描范圍可達(dá)150mm,無需拼接。
特征
臺(tái)階高度:納米級(jí)到1000微米
恒定力控制:0.03至15mg
樣品的全直徑掃描,無需拼接
視頻:5MP高分辨率彩色相機(jī)
弧形校正:可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
軟件:簡單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力:全自動(dòng)測量,具有測序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能
應(yīng)用
臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲、形狀
應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷檢測:2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)
高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED:發(fā)光二極管
太陽能
MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
汽車
醫(yī)療器械
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