NEE-4000(A)全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內(nèi),二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,他可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實現(xiàn),這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過PC計算機控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。
NEE-4000(A)全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點:
· 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
· 雙電子束源
· 多凹槽電子槍
· 可編程電子束掃描
· 10KW開關(guān)電源
· 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
· 自動上下載片
· 材料和襯墊更換非常方便
· 晶振式膜厚監(jiān)測儀
· 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機控制
· 菜單驅(qū)動,四級訪問密碼保護
· 完全的安全聯(lián)鎖
產(chǎn)品型號:
· NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)
· NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統(tǒng)
那諾-馬斯特中國有限公司
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